据台湾中时新闻网3月23日报道，台湾台受、地积电、震台南茂等半导体厂人员皆平安，等半导体仅一些敏感机台当机。厂部其中在南部科学园区部分，分机群创有2厂部分机台当机，影响但最后确认并无影响。台湾台受

据当地媒体报道，地积电台积电表示，震台大部分厂区都没有达到疏散标准，等半导体只有零星疏散，厂部地震后，分机很快回到生产线；联电表示，影响员工及厂房均安、台湾台受部分机台启动保护停机功能需要重新开机，整体第一季业绩不受影响。

23日凌晨，台湾台东县海域发生6.6级地震，此后大小余震不断。